第1603章 分辨率测试

十几分钟后,栗亚波跟随常浩南再次来到地下测试中心。

那块双负折射平板透镜被小心翼翼地安装在特制的保护平台上。

“老师,您说的那个重要猜想……具体是什么?”栗亚波忍不住问道。

常浩南没有直接回答,而是下令道:

“亚波,去准备几样东西。”

栗亚波几乎条件反射地掏出笔记本。

“一台波长632.8纳米的氦氖激光器,要功率稳定、模式纯净的;还有,”他顿了顿,加重了语气,“一块分辨率测试靶标,精度要求……至少包含11组第3元素或更高。”

栗亚波心头猛地一跳。

对方口中的分辨率测试靶标毫无疑问是指USAF 1951标准下的产品。

而11组3元素对应的线宽/间隙宽度是0.194微米。

这已经进入了亚微米尺度!

“分辨率测试?”

他立刻明白了常浩南的意图,但随即感到强烈的不可思议。

“老师,632.8nm是可见红光,理论分辨率极限大约在……316纳米左右,而我们这块透镜,”他指了指保护台上的晶片,“尺寸就这么大,等效数值孔径根本不可能很高……”

常浩南的神情却异常平静,仿佛栗亚波说的只是常识而非障碍。

“这正是我的猜想核心所在。”他解释道,“负折射率材料,它对电磁场的操控方式,从根本上有别于传统材料……可能不仅仅是‘弯曲’光线那么简单,有可能……改变局域场的分布模式。”

空气,一时间陷入沉默。

“总之,去准备吧。”大约半分钟后常浩南才继续道,“做过实验,就知道我的猜想是对是错了……理论是用来指导的,但最终,实验才是检验真理的唯一标准。”

栗亚波深吸一口气,迅速冷静下来,大脑也开始飞速运转,规划着实验方案。

“实验室本身有搭建光路系统的基准光学平台和标准件,但要进行高精度的成像分辨率测试,还需要一些辅助设备来保证光束质量、消除振动、精确对准和定量分析。”

他思索片刻开始在心中罗列清单:

“比如高精度的光束准直扩束系统、旋转毛玻璃散射器、可调中性密度滤光片、精密孔径光阑……最重要的是,整个系统必须搭建在顶级的气浮隔振光学平台上,还得有微米精度的多轴位移台,来微调样品和靶标的位置……”

“……”

“好在都是标准件,都可以买现成的。”栗亚波总结道,“加急的话大概一星期左右能到位。”

接着又补充了三个字:“就是贵。”

“这些都不是问题,”常浩南点点头,“需要采购或调拨的,列出清单,我下周要出席一个未来信息产业大会,正好等我开完会回来,看你的准备情况。”

他拍了拍栗亚波的肩膀,“我相信你能搭建出可靠的测试环境。”

“保证完成任务!”栗亚波挺直了背。

……

常浩南离开后,栗亚波立刻前往实验室设备处。

设备处主任谢熙森是一位面容和蔼但精打细算的中年人,看到栗亚波递过来的、密密麻麻列了二十几项设备的清单之后,眼睛瞬间就瞪圆了。

他接过清单,手指一行行划过,嘴里不由得发出“嘶……”的一声。

“栗教授,这才四月份不到啊……你这……今年烧掉的经费,都快奔着两个亿去了吧?”

谢熙森抬起头,半是认真半是开玩笑地看着栗亚波:

“现在又来这一大单,少说也得大几千万甚至上亿的预算。”

谢熙森的语气里带着设备管家特有的肉疼和对项目组花钱如流水的感慨。

他也是科学院国家重点实验室出身,然而来火炬实验室不到三年时间,签出去的经费比过去三十年加起来还高一个数量级。

栗亚波理解谢主任的“心痛”,但此刻他心中只有那个至关重要的实验,没有开玩笑的心情。

“谢主任,这是常院士点名要的设备,所有支出都可以走重大专项的经费渠道,优先保障,尽快到位。”他顿了顿,补充道,“常院士一周后就要看结果,时间很紧。”

听到“常院士亲自安排”、“重大专项核心”,谢熙森也瞬间换上了严肃认真的表情。

“明白了,清单给我,我亲自盯进度。”他不再多问,拿起清单,迅速坐到电脑前开始操作。

说归说闹归闹。

在火炬实验室,钱,基本不会是首要问题。

……

四天后京城会议中心。

华夏未来信息产业大会如期召开。

这种级别的会议大佬云集,很可能几句无心的谈话,就影响到未来几年内的行业走向。

因此,很多人都会提前到场,看能不能找到一些机会。

贵宾休息区内,几位国内信息产业头部企业的代表正围坐在一起,低声交谈。

轻松的氛围下,涌动的是对未来格局的深切关注和一丝不易察觉的焦虑。

“5G标准R12、R13的讨论白热化,我们几家在3GPP的话语权是提升了,但真正的较量还在后面。标准落地,终端、基站、核心网设备的规模部署才是硬仗。”

海森半导体的副总裁何鑫推了推眼镜,语气沉稳中带着紧迫。

“没错,”一位来自电信的高管接口道,“移动互联网的发展势头根本刹不住,用户对带宽、时延的要求是永无止境的。这直接引爆了对高性能、低功耗、高集成度芯片的饥渴需求。”

另外一人也表示赞同:

“未来几年,消费级芯片的出货量和产值,甚至有可能会超越工控领域,成为绝对主力……”

“……”

国内绝大多数消费电子领域的企业并没有标准制订权,也出席不了本次会议。

少数出席了的,这功夫也不在这个半导体领域的圈子里。

因此提到消费端的情况之后,气氛反而有些冷场。

最后还是何鑫接过了话茬:

“设计方面,我们有信心对标国际最前沿。但流片……很可能会遇到瓶颈。”他叹了口气,“我们跟几个主要供应商都接触过,但三星肯定优先供给自家,TSMC也有传统客户,都很直接地表示不太可能挤出太多产能。”

随后,又转向华芯国际技术总监吴明翰院士:“吴院士,现在的情况……华芯很可能成为胜负手。”

而吴明翰的表情也有几分无奈:

“我们目前的生产主力,一个是国产的SMEE ArF-1500,再一个就是ASML的NXT:1950i……但ArF1500受限于光源和物镜,目前还很难用于112.5nm以下的先进制程。”

他停顿了一下,语气更加低沉:

“至于NXT:1950i,主要是数量很少,而且交货周期也不太稳定……”

有人插进话来:

“1950i……我印象里是08年左右的型号了吧?”

吴明翰点头:

“这个序列里更新的型号是NXT:2000,当然还有最近几年才出的极紫外产品线,主要是NXE:3300B……都在采购谈判过程中,就是情况……老实说,不太乐观。”

听到最后四个字,众人全都内心一沉。

何鑫的语气严肃起来:“ASML不愿意出售?”

吴明翰摇了摇头,紧接着又点了点头:“荷兰人没明说,但基本就是这个意思……”

“NXT:2000i的谈判还在拉锯,价格、交货期、附加条件……对方咬得很死。至于3300B……”他露出苦笑,“别说谈价格了,我们的谈判团队连设备实物都还没被允许‘亲眼’看到过……”

能坐在这个地方的人,哪怕是全是搞技术的,也都有最基本的敏感性。

一股寒意悄然爬上脊背。

过去十几年里,尽管理论上的制裁仍然存在,但得益于和欧盟之间的关系,华夏基本可以采购到ASML最新,或者次新级别的产品。

现在ASML的态度发生180°转向,恐怕不会是,至少不只是荷兰人自己的意思。

何鑫张了张嘴,刚想再追问华芯国际在多重曝光技术上突破40nm甚至28nm制程的具体进展和良率情况,却忽然听到旁边传来一阵轻微却明显的骚动和惊讶的低语声。

他抬起头,循着众人的目光望向会场入口处。

只见门口站着一位身穿合体深色西装的男子,正背对着他们,看不清面孔。

但在那人对面站着的,却是今天的大会组织者,工建委主任栾文杰!

能让栾主任如此熟络、甚至带着几分亲近交谈的人,会是谁?

就在何鑫疑惑之际,门口那位男子似乎结束了谈话,微微侧身。

也因此而露出了侧脸。

“常浩南院士?!”

何鑫脱口而出,声音里充满了意外。

如今国产半导体行业的起步阶段,很大程度上依赖于早年间计算技术研究所以及曙光集团的资源倾斜。

这方面走在明面上的,是前曙光集团董事长、计算所所长李杰院士。

而稍微内部一些的人则会知道,常浩南也在其中发挥了重要作用。

因此何鑫一打眼就认了出来。

但还是有些惊讶。

他低头快速翻看手中的会议议程手册,从头到尾仔细找了一遍。

确实没有看到常浩南的名字。

“吴院士,议程上有常院士吗?”

“没有吧……”吴明翰也仔细回想了一下,然后更加笃定地回答道:“至少我拿到的议程里,没有常院士的报告安排。”

(本章完)

第1604章 去你们华芯国际看一看

这时,吴明翰注意到华芯国际的执行董事周学恰好端着咖啡从旁边经过。

周学曾在工建委担任过重要职务,人脉深厚。

“周董!”吴明翰连忙叫住他:“您看那边,常院士和栾主任……”

周学顺着吴明翰指的方向看去,脸上露出了然的神色,点了点头。

“常院士嘛,当然是来参会的。”他的语气很平常,仿佛这是再自然不过的事情,“常院士除了是航空动力集团和火炬实验室的领导以外,还兼任工建委的总顾问,理论上可以介入任何跟工建委有关的活动及项目。”

“出席个产业会议而已,用不着大惊小怪。”

“我不是奇怪这个。”吴明翰摆摆手,解释道,“我是看议程上没有……”

周学笑了笑:“单纯参会,不做报告也不讲话,当然在议程上看不见了……”

这个解释其实有点生硬。

按照惯例,有院士级别的学者参会,都会提前在会议材料上标出来,以体现出“我们这个会议比较牛逼”的特点。

现在材料上半个字不提其实就是说明常浩南的参会是临时决定。

但众人心里也都有谱,所以都没再往深了问。

周学似乎还想和吴明翰、何鑫聊聊光刻机的事情,但此时,会场内的铃声响起,表示大会即将开始,同时会务人员也开始引导贵宾们入场。

众人的私下交流只能暂时停止,带着各自的心思,随着人流步入主会场。

首先登台致辞的,自然是身为工建委一把手的栾文杰。

不过他是航天专家,本身对通信和半导体领域并不精通,因此发言内容也是以国家在信息产业,尤其是5G通信领域的战略布局为主:

“……全球5G标准制定已进入冲刺阶段,这是重塑未来十年全球通信产业格局的关键战役,我们必须、也必将力争主导地位……”

栾文杰这一代搞航天的,本质上都相当于军人出身。

因此声音洪亮充满气势:

“而标准的落地,依赖于坚实的产业基础,5G基站将以百万计部署,智能终端将以十亿计爆发,核心网络设备需要全面升级换代……这一切,都建立在同一个基石之上——先进的、自主可控的半导体制造能力……”

“……”

这番掷地有声的话语,精准地命中了台下所有产业界人士的心弦,更是让吴明翰等人感到了沉甸甸的压力。

但华芯国际是个搞流片的,并不负责设备研发。

现在他所能做的,也只有在工艺层面继续精益求精。

随后,何鑫代表海思上台,展示了雄心勃勃的产品路线图。

巨大的屏幕上,清晰地呈现了面向5G基站的“天罡”系列芯片概念和下一代旗舰手机SoC的性能目标。

其算力、能效比、集成度等关键指标,都已经直指国际顶尖水准。

“我们的设计能力,配合国产EDA工具的快速进步,已经达到世界一流水平!”何鑫语气铿锵,但随即话锋一转,“但目前,我们面临的最严峻挑战,还是先进制程的流片产能严重不足!不仅我们自身的需求无法满足,国内众多创新企业的高端芯片设计,也卡在了制造这一关!”

“……”

……

在整个上午的会议环节中,常浩南始终安静地坐在贵宾席一个不太起眼的位置。

他没有发言,没有提问,甚至连表情都很少变化,只是专注地听着每一位演讲者的发言,偶尔在面前的笔记本上记录几笔,像一个冷静的观察者,又像一块深藏不露的磁石。

即使沉默,也隐隐吸引着一些知情者的目光。他的存在本身,就是一种无声的信号。

上午的会议结束,人群开始散场。

常浩南没有立刻离开而是起身,径直走向了正被几位同行围住交流的吴明翰院士。

“吴院士,您好。”常浩南伸出手,语气平和而尊重。

吴明翰连忙结束与旁人的谈话,转过身,双手握住常浩南的手:“常院士!您好您好!没想到您也来参会了,刚才的议题……”他以为常浩南是来讨论大会内容。

常浩南微微一笑,开门见山,却又绕开了刚才大会的焦点:“吴院士,这次来,是想了解下华芯国际在更成熟制程方面的能力。”

这个说法实在有点太模棱两可,吴明翰用笔帽蹭了蹭头发:“具体是指……哪方面?”

会场内人多眼杂,再者栗亚波那边的试验也还没个结果,所以常浩南还不准备把自己的成果直接说出来。

而是换了个角度。

“我们火炬集团,连同火炬-C.B.法拉利公司,目前正在积极布局智能制造和工业物联网领域。”他提到了自己掌控的资源,“这一块对芯片的需求量巨大,而且跟传统的工控需求不同,这一块对产品性能的要求不亚于消费端。”

“不知道……华芯国际目前在48nm,以及更精细工艺节点的产能如何?是否能支撑大规模、高性价比的流片需求?”

吴明翰作为内行人,当然知道再怎么高精尖的工控需求也不太可能跟消费端一样,所以对方的提问大概率是醉翁之意不在酒。

因此比较委婉地回答道:

“常院士,智能制造和物联网这块,主要应该是48nm,或者更成熟的65nm、90nm节点,这些算是我们目前产能的主力,良率和稳定性经过多年打磨已经相当不错,成本也有竞争力,但是……”

他话锋一转,转向另一个角度:

“您说的‘更精细节点’,如果想通过NXT:1950i这样的深紫外设备制造,那就要结合离轴照明、相移掩模、还有多重曝光这些技术,去强行实现比理论极限更高的分辨率……技术上,我们确实在攻关,也取得了一些成果。”

常浩南也看出对方是会了意,于是追问:“量产能力和良率如何?”

吴明翰摇摇头,语气变得沉重起来:“理论上,曝光次数每翻一倍,分辨率就能增加一倍,但实际问题非常大……”

说到这里他略略加快脚步,和常浩南来到一个稍僻静的地方:

“一方面,这些技术本身极其复杂,工艺整合还不完全成熟,任何一个环节的波动都会导致失败。另一方面,多重曝光极大地增加了工艺步骤和套刻对准的次数,每一次对准都会引入微小的误差,累积起来,会导致芯片上特征尺寸的均匀性变差,关键尺寸偏差飙升……”

“总体来说,双重曝光可能可以实现比48nm更高的特征尺寸,但良品率和成本都不太容易控制,产能也就不可能提上去,至于四重曝光……”

吴明翰脸部肌肉抽动了一下:“理论性能几乎可以对标EUV,不过大概率连一片产品都流不出来。”

常浩南静静地听着,脸上没有任何惊讶或失望的表情,仿佛早已预料到这个答案。

他对吴明翰描述的困境不置可否,既没有追问细节,也没有表达看法。只是在吴明翰说完后。

只是沉默了几秒钟,然后提出了一个让吴明翰更加意外,却又隐隐觉得合情合理的请求:

“吴院士,您说的我明白了。技术攻关的艰难,我深有体会。”他停顿了一下,“不知是否方便……我想近期亲自去华芯国际的晶圆厂参观一下……不需要特别安排,就看看你们最真实的生产线和工艺现状。”

实际上,这个要求提的有些冒失。

华芯国际毕竟是个企业,常浩南手里也有企业,虽说不构成直接竞争,但你开口就要去最核心的地方看看,总归不太合适。

但吴明翰心中却念头飞转:常浩南院士突然对芯片制造产生了浓厚兴趣?而且是成熟制程?还要实地看生产线?

这绝对不仅仅是出于对智能制造芯片供应商的考察那么简单。

联想到火炬实验室那些前沿研究成果……

吴明翰的心脏不由得加速跳动了几下。

他隐隐感觉到,这次参观如果成行,或许会带来一些意想不到的转机。

“当然方便!”吴明翰冒着越俎代庖的风险应承下来,“我马上联系人安排!您看什么时候合适?我们全程配合!”

(本章完)

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