第1630章 什么技术我没见过?

“咳咳……”

张汝宁清了清嗓子,语气中带着一丝神秘:

“总之,具体的技术细节,涉及到高度保密的材料科学突破,在这里确实不能多说……等大家到了上沪微电子,亲眼看到实物之后,所有的疑惑自然都会解开。”

现场众人的想法还是比较单纯的。

既然组长都这么说了,那想必真是保密缘故,不便多问。

可脑子里的想法却没那么容易改变——

我们专业搞光刻的,什么技术没见过?

因此,一时间竟然不知道该说点什么。

会议室再次陷入沉默。

只是这一次的沉默,不再是之前的压抑和困惑。

而是混杂着震撼、好奇、以及一种即将揭开惊天秘密的忐忑。

简单来说就是,士气正旺!

张汝宁见状,知道火候到了。

“好,既然没有其他问题了,那么现在开始挑选人手……”

听到这句话范洪杰终于长舒一口气,感觉压在心口几个月的巨石终于被搬开。

像是屁股下面安了弹簧一样光速起身,把座位让给旁边的张汝宁。

脸上还带着苦笑:

“组长您是不知道啊,这段时间我在这个位置,简直是如坐针毡!”

他一边说着,一边捋了捋前额处的几缕头发:

“早知道这样,当初您就该把我也‘打包’带走,省得我在这里抓瞎……连头发都快掉光了!”

这话虽然是以半开玩笑的语气说出口,却又隐藏着一丝不易察觉的“委屈”,也道出了在场不少人的心声。

大家都是长光的核心骨干,是多年的战友。

结果张组长自己跑去搞惊天动地的“秘密项目”,吃香的喝辣的。

却把他们留在“冷宫”里,守着进展缓慢、前途未卜的旧项目煎熬。

这心理落差,确实有点大。

张汝宁听出了范洪杰话里那点“失宠”的意味,也看到了其他人眼中类似的情绪。

他神情一肃,目光扫过面前众人:

“同志们,在座的每一位,都是经过组织严格审查,能力和立场都绝对可靠的骨干!”他加重了语气,“但也正因为都是骨干,所以才更不能把你们全部抽调走!”

接着又指了指范洪杰:“尤其是你,老范!”

“要是你我正副组长,带着整个核心团队全都消失了,那外界岂不是一眼就看出咱们项目内部发生了变动?还谈什么保密?”

这段解释非常合理也很容易被大家接受。

众人的表情好看了不少。

张汝宁也停顿了一下,又转而带上了真诚的歉意:

“但不管怎么说,这段时间,确实委屈同志们了!”

“我知道你们承受了巨大的压力,付出了艰辛的努力。”

“你们的坚守,本身就是对这项国家战略任务最重要的支持!”

“我张汝宁在这里向大家保证!”

他的声音陡然拔高:

“未来1800光刻机功劳簿上,绝对少不了你们这些‘留守功臣’的名字!”

“……”

瞬间,会议室里的气氛被彻底点燃。

压抑已久的斗志和好奇心汹涌而出,众人纷纷请缨,希望能奔赴上沪,亲眼见证那“颠覆认知”的新型光刻系统!

……

三天后。

上沪微电子装备集团(SMEE)研发与装配中心。

巨大的厂房在冬日阳光下泛着金属的冷光,一辆大型牵引式卡车的货箱敞开着,停在专用卸货口前。

里面却已经空空如也,显然是已经完成了卸货。

装配中心负责人寿荣昌带着几名核心技术人员,早已等候在此。

看到张汝宁和栗亚波一行人下车走来,立刻迎了上去。

脸上带着难以抑制的期待:

“张研究员!栗教授!”寿荣昌热情地握了握二人的手,“一路辛苦了,欢迎欢迎!”

接着又看向稍远处:

“长光的同志们,也辛苦你们了!”

张汝宁与寿荣昌算是老相识,也笑着回应:“寿主任客气了,我们也是奉命而来,责无旁贷……”

“……”

简短的寒暄过后,前者环顾了一下四周,目光落在那辆空卡车上:

“看样子,东西已经就位了?”

“早就到了!”寿荣昌连连点头,语速都快了几分,“昨天下午专机运抵,今天凌晨在超净装卸工位完成的卸车和初步环境稳定,现在就等着你们这些‘娘家人’来主持技术对接,还有后续的整机集成呢!”

他侧身做了个请的手势:

“走,咱们先进去,换衣服,东西就在里面。”

路上,或许是为了避免冷场,也或许是单纯好奇,寿荣昌回头打量了几番身后人群,然后有些疑惑地凑到栗亚波近前:

“栗教授,火炬实验室的负责人……我记着应该是常浩南院士,他没跟过来么?”

“老师他……这两天有其它事情。”栗亚波顺便瞄了眼门口万年历上的日期,“等几天正式进入装配流程的时候,他再过来。”

……

一行人换上最高等级的无尘服,经过严格的风淋除尘,进入了核心的光学装配车间。

车间内恒温恒湿,洁净度达到不可思议的级别。

刚走进气密大门,一行人的目光就被车间中央一个精致的、闪烁着金属冷光的方形货柜牢牢吸引住了。

货柜通体银灰色,表面没有任何标识。

只有几盏小小的状态指示灯。

它静静地矗立在专用承托平台上,像一位等待揭幕的明星。

此时,货柜旁边还站着另外几个人,同样穿着无尘服。

寿荣昌立刻介绍道:

“张研究员,栗教授,这几位是华芯国际负责对接的技术代表。”

“他们会全程跟进我们的总装调试过程,以便设备一交付,就能在最短时间内组织起7nm芯片的生产线!”

为首一人转过身。

虽然隔着面罩看不清脸,但也能感觉到是一位性格沉稳的中年人。

听到张汝宁的名字之后,当即伸出手,抢在寿荣昌之前自我介绍:

“我是黄炜,目前负责津门海河基地。”

张汝宁握住黄炜的手,言简意赅:

“张汝宁,长光集团,负责物镜系统。”

长光集团和华芯国际之间就隔了一层关系,不过二人之前也共同出席过几次行业会议,算是点头之交。

只是情况特殊眼下显然不是叙旧的好时机。

寿荣昌示意旁边的工作人员递上一份厚厚的交接文件。

张汝宁接过,快速翻到签名页,郑重地签下自己的名字。

笔尖划过纸张的沙沙声,在极度安静的无尘车间里显得格外清晰。

这标志着,这套寄托了无数期望的核心模组,正式由研发方移交给了集成方。

行政流程结束。

技术交接,正式开始!

(本章完)

第1631章 这技术我真没见过

寿荣昌深吸一口气,努力让自己的声音显得浑厚。

但因为面罩的缘故,反而有些沉闷:

“开箱!”

两名早已准备好的SMEE工程师,一脸严肃地走到货柜前。

他们各自手持一把造型奇特的银色钥匙,并分别将其插入位于货柜上下两端的两个锁孔。

两人默契地同时开始倒数:

“三……二……一……开!”

两柄钥匙几乎同时转过90°、

货柜正面,一盏醒目的红灯瞬间跳转为稳定的绿灯!

“滴滴!”电子锁解除的提示音短促而清晰。

紧接着,一阵轻微的液压泄气声传来。厚重的双层合金柜门,沿着精密的滑轨,缓缓地、平稳地向两侧无声滑开。

一层厚厚的、透明度极高的钢化玻璃护罩显露出来。

透过玻璃,可以清晰地看到被多层柔性防震材料牢牢包裹、固定在特制支架上的核心——

那套传说中的“全新物镜系统”模组。

模组整体呈圆柱形,体积比众人想象中要紧凑得多。

虽然镜片表面全都覆盖着黑色的遮光保护罩,但大致轮廓和镜片分布清晰可见。

“咦?”

跟在张汝宁身后的范洪杰忍不住发出一声低低的惊呼,在极度安静的车间里显得格外清晰。

他立刻意识到失态,有些尴尬地扶了扶护目镜,解释道:“抱歉……我是说,这模组的集成度……在DUV系统里,我至少有十来年没见过了!”

十几年前,DUV光源才刚刚引入光刻系统。

模组简单,是因为性能相对较低。

但现在拿出这么个紧凑的系统,显然是另一回事。

“别急。”张汝宁回头看了他一眼神秘地笑了笑,“更让你震惊的,还在后面呢。”

语毕,他和寿荣昌二人亲自上前,小心翼翼地一齐发力将巨大的护罩缓缓移开。

紧接着,几名穿着洁净服、戴着特制手套的工程师上前,在张汝宁的亲自指导下,极其谨慎地解除了模组的固定装置,然后合力将其沿着精密滑轨,平稳地转移到旁边一个特制的光学装配平台上。

当模组稳稳落位后,最关键的时刻到了。

又是两名工程师上前,用特制的工具,极其轻柔、精确地,逐一取下了覆盖在每一个镜片组上的黑色遮光保护罩。

物镜组的真容,终于毫无保留地展现在所有人眼前!

银灰色的精密金属镜筒内,十四个大小不一、形状各异的镜片组按照特定的顺序排列组合,镜片边缘在无影灯的照射下闪烁着独特的光泽。

“这……”孔学武双眼猛地瞪圆,下意识地往前凑了一步,有些难以置信地嘟囔着,“这……这光路结构……怎么看着像个……复古的纯折射式物镜组?”

要知道,从三代之前的ArF-850开始,长光集团就放弃了纯折射模组,转而引入折反式系统。

寿荣昌也眉头紧锁,绕着装配平台走了一圈,手指在虚空中比划着。

他作为整机集成专家,对光路极其敏感。

“奇怪……”寿荣昌的语气中充满困惑,“我好像有点看不懂这个镜头组的光线通路……”

说完,他后退几步,又比划了两下。

还是得到了一样的结果:

“无论假设光源从1号镜(最上方的凸透镜)还是2号镜的位置入射,按照这些镜片的曲率和棱镜角度,光线似乎都无法有效汇聚到底镜上……反而感觉会从侧面,比如5号或者7号棱镜的位置,直接折射或者反射出去?”

他看向张汝宁和栗亚波,试图寻求答案。

但并没有马上得到回应。

就在众人被这奇特结构吸引,低声讨论,充满疑惑之际,张汝宁移步到装配平台旁边一台悬挂的大尺寸触控显示屏前。

他伸出戴着无尘手套的手指,轻点两下唤醒屏幕然后迅速输入了一长串复杂的动态密钥。

屏幕亮起,瞬间切换到一个高度复杂、标注详尽的三维光路设计图界面。

张汝宁转过身,面向众人。

刚刚还在低声讨论的寿荣昌、范洪杰、孔学武等人瞬间噤声。

整个超净车间里,只剩下空气循环系统的低鸣,以及二十几道凝聚着震惊、好奇与求知欲的目光,齐刷刷地聚焦在那块大屏幕上。

只有少数几名跟随张汝宁全程参与研发和测试的长光及火炬核心成员除外,

他们脸上露出了然于胸的会心笑容,饶有兴致地等待着同事们接下来的精彩反应。

“各位,”张汝宁的声音透过口罩,清晰而沉稳,“这就是我们‘全新ArF-1800物镜系统’的核心设计。”

他指向屏幕中央复杂的光路图:“首先,大家最关心的光路问题。”

光路图被高亮,一条虚拟的、代表193nm DUV激光束的紫色线条开始沿着预设路径动态延伸。

“光源,从这里,1号凸透镜上方特定角度入射。”光点精确地落在1号镜上。

“然后,光线会依次经过这里、这里……”代表光路的紫色辅助线快速在几个镜片间跳跃,“注意看这里,5号棱镜!还有这里,7号棱镜!光线在它们表面,并非单一地折射或反射……”

随着他的讲解屏幕上5号和7号棱镜的位置被放大、高亮。

然而,两股光束在接触到棱镜表面时,竟然诡异地走向了两个方向!

一股清晰地沿着折射路径穿透棱镜继续前进,而另一股则沿着反射路径改变了90度方向!

“这……这怎么可能?!”范洪杰心中狂震,差点喊出声。

他死死盯着屏幕,感觉脑子有点发钝:

一个光学元件,怎么可能同时承载折射和反射功能?

在物镜系统内,折射元件表面的反射效应是主要干扰之一,要尽可能消除的。

但张汝宁却没有停顿,继续引导光路前进:“……经过16次折射和4次关键反射后,最终,光线会在这里——底镜,被完美汇聚!”

光点最终精准地聚焦在代表硅片平面的目标点上。

很快,范洪杰就意识到,问题不只出在那两处。

通过3号和12号镜片的折射光路走向也非常奇怪,看上去就好像把把镜面轮廓给画错了一样……

他强压下立刻提问的冲动,只是把关键疑点记在脑子里,准备事后细问。

然而,张汝宁的解释反而更快一步。

“好,光路清楚了。”他的语气变得无比严肃,“现在强调安装和调试的核心关键点!”

“整个物镜组的核心,是这四块镜片!”指尖依次点中3号透镜、5号棱镜、7号棱镜、12号透镜,它们在屏幕上闪烁着醒目的高亮轮廓线。

“它们由一种革命性负折射材料制成。”张汝宁语气平淡地吐出了一个石破天惊的名词,“其中3号和12号透镜的主要功能是消除系统色差,确保成像清晰度。”

“而5号和7号棱镜,”张汝宁继续介绍,“利用负折射材料的特殊光学性质,同时发挥折射和反射功能,避免垂直入射的光线被其它元件遮挡……”

“……”

他环视全场:

“正因如此,这套物镜组在安装、定位和校准过程中,其基准点设置,与我们之前的ArF-1500系统完全不同,不再是传统的1号镜、中间镜、底镜三点校准!”

屏幕上,四个红色三角精确地标定在3号透镜、7号棱镜、12号透镜以及底镜的位置上。

“而是3号、7号、12号、底镜,四基准点校准!其定位精度要求和相互关联的复杂程度,远超以往任何型号,这也是为什么必须由我们最精锐的原班人马亲自操刀,SMEE和华芯的同志密切配合……”

“……”

实际上,后面这部分内容,张汝宁大概率要再说一遍了。

因为当“负折射材料”五个字从他口中吐出的瞬间,大部分人就已经进入了呆若木鸡的状态。

尤其范洪杰,更是瞬间明白了什么叫“更让你震惊的在后面”。

好嘛!

这技术,我是真没见过……

(本章完)

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